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零件型号
高分辨率定位模块：
压电位移台
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该压电位移台可对大面积单相材料和复合材料样品进行高分辨率压痕映射，满足严苛的精度要求。 无论是评估各相的力学性能、检测表面均匀性，还是研究热机械效应，该平台均可提供准确可靠的测量结果。 与 Anton Paar 的 UNHT 700 测量头配合使用，可实现出色的纳米压痕测量性能。
关键功能
压电位移台，实现卓越的重定位精度
凭借 10 nm 的重定位精度，实现高精度位置控制，使每次压痕测量均可在预定位置精准进行。
大面积高精度压痕测试
压电位移台的测量区域可达 600 µm × 600 µm，可在该区域内高效开展大面积压痕映射，实现精准且一致的力学性能表征。
无缝集成与便捷平台升级
压电位移台集成便捷，购买新平台时可作为选配模块，也可用于升级现有仪器。 这种灵活的方案有助于缩短停机时间、扩展测量能力，并可在升级后快速改善仪器性能。
规格
| 100 μm × 100 μm | 600 μm × 600 μm | |
|---|---|---|
| X 轴行程范围 | 100 μm | 600 μm |
| Y 轴行程范围 | 100 μm | 600 μm |
| XY 分辨率 | 0.2 nm | 0.5 nm |
| XY 定位精度 | 10 nm | 20 nm |
| 压电载物台尺寸 | 100 mm × 100 mm × 20 mm | 150 mm × 140 mm × 30 mm |
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