高温纳米压痕测试仪：
UNHT³ HTV

在低至 10 ^⁻⁷ mbar 的真空环境下开展温度最高达 800 °C 的高温测量
自动将热漂移降至 3 nm/min 以下
样品和压头的温控精度达 0.1 °C
统一控制真空、气体、加热和压痕测试的软件

UNHT³ HTV

关键功能
规格
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UNHT³ HTV 可在高真空环境及高达 800 °C 的温度下进行可靠的纳米压痕测试。凭借全自动热漂移抑制功能和专利温度控制技术，系统能以 0.1 °C 的精度控制样品和压头温度，并将热漂移降至 3 nm/min 以下。统一的控制软件通过直观的工作流程，集中管理真空、惰性气体气氛、加热、冷却和压痕测量。

关键功能

高真空条件下测试，温度可达 800 °C

在高真空环境及高达 800 °C 的温度下进行可靠的纳米压痕测量。 UNHT³ HTV 可在压力低至 5 × 10⁻⁷ mbar 的超高真空环境下运行，有助于减少氧化、污染及非预期的表面反应。其专利温控系统以 0.1 °C 的精度同步控制样品和压头的温度，并在整个温度范围内自动将热漂移控制在 3 nm/min 以下。

通过统一软件平台开展复杂实验

通过同一套直观易用的软件平台，即可控制真空、惰性气氛、加热、冷却和纳米压痕测量。 UNHT³ HTV 让您可通过图形化总览界面监控真空系统，并精确控制抽真空、放空和气体处理过程。压痕测试软件与系统实时交互，并根据您预设的温度和压痕矩阵自动完成测量。

精度最高的纳米压痕测试仪

UNHT³ HTV 配备相互独立的深度传感器和载荷传感器，可精确控制载荷和压入深度。 Anton Paar 的专利主动顶面参照设计采用参照压头持续监测样品表面，同时由测量压头执行测试，从而显著降低热漂移和柔度效应的影响。因此，可在较宽的工作范围内进行可靠测量，压入深度范围为数纳米至 100 μm，载荷范围为数 μN 至 100 mN。

“Sinus Mode”附加 DMA 功能

UNHT³ HTV 集成的 Sinus Mode 可开展动态力学分析 (DMA)，对薄膜至块体样品等材料进行力学性能深度剖析（HIT 和 EIT 随深度的变化），并测量其黏弹性性能（E'、E''：储能模量和损耗模量，以及 tan δ）。其他功能包括快速压头校准和应力-应变分析。

规格

	UNHT ³ HTV
Step 平台兼容性	Step 5 HV
低载荷压痕 [μN]	低至 10
最大载荷 [mN]	可达 100
载荷分辨率 [nN]	6
载荷噪声基底 [rms] [μN]	≤0.5
深度范围 [μm]	100
深度分辨率 [pm]	6
深度噪声本底 [rms] [nm]	≤0.0.15
数据采集率 [MHz]	0.192
DMA 频率范围	1 Hz 至 40 Hz
定位精度	低至 1 µm